二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293829116 待售
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ID: 293829116
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Sputtering system, 8"
(2) PVD Endura type remote generator rack
(2) TxZ Gas cabinet
Buffer HP Robot, Transfer robot VHP Robot
AMAT 0 Heat exchanger
AMAT NESLAB III
AC Rack
Umbilical cable length: 25 feet
Chambers:
LLA Load lock A Narrow body with auto tilt
LLB Load lock B Narrow body with auto tilt
E / F Orient / Degas orienter / Standard degas
Clear lid wafer lifter
Cool down clear lid wafer lifter
Buffer HP Robot with metal blade
Transfer VHP Robot with metal blade
IMP Chamber:
Wide body chamber
IMP Source with magnet
Motorized lift assembly
UHV Gate valve (3-Position)
A101 Heater
Shutter assembly
HFV- 8000
MDX - L12 M-650 DC Power supply
HP T x Z Chamber:
Heater lift assembly
Gate valve
HP TxZ Heater
PDX - 900 - 2V
PC II Resonator:
Chamber body
Wafer lift
RF Match
RF CPS1001S
RF LF - 10 A
Missing parts:
9600 System Cryogenics compressor missing
(3) OB-8F Cryogenics pump (3PH) Missing (Buffer, X-fer, IMP)
(4) 361C Turbo pump missing (PC II 2ea, TxZ 2ea)
(4) Resistor on TxZ Lid missing
Operating system: VMS
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种用于先进半导体应用的高性能转移和光刻反应堆。AKT Endura 5500设备实现了快速、准确的模式传递，并支持多种标准工艺材料，包括掺杂多晶硅、单层和双层多晶硅闸栈、硬面膜。该系统具有大型高精度腔室、快速冷却和多级光刻工艺,可确保在整个晶片表面上精确复制图样。AMAT ENDURA 5500还提供了高端工艺能力，如深层反应性离子蚀刻（DRIE）和脉冲激光沉积（PLD），使当今的超导器件得以处理。AKT ENDURA 5500可以容纳多种底物，包括硅、砷化的、绝缘体上的硅和玻璃。APPLICED MATERIALS Endura 5500单元采用双伺服控制级机构,在多种温度范围内操作具有极好的精度和可重复性。它采用三区高分辨率干涉显微镜（IRM）机监控整个过程。该工具包括功能强大的处理器,可实时读出各种光刻应用的关键尺寸。此外，AMAT Endura 5500支持低温工艺的热退火，以改善膜和结构的附着力。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500还包括一个独特的热载/冷卸特性，显着减少暴露于空气中的污染物。这显着提高了设备质量,降低了设备生产的总体成本。此外，ENDURA 5500还以真空室为特色，具有高品质、磁悬浮、电机驱动的快门，允许反应室精确快门进行可重复操作。高端光刻能力、重复性和精度的结合，使得AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500成为先进半导体应用的理想解决方桉。它为客户提供了他们在商业上最关键的流程所需的性能和可靠性。
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