二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293831634 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500干蚀刻反应堆是一种最先进的等离子体蚀刻设备，旨在实现即使是最复杂的半导体设计规则的快速和精确处理。该系统通过提供集成智能的高级过程控制来增强创新,为具有挑战性的蚀刻应用程序提供更大的灵活性。它具有5500 nm/min的最大蚀刻速度和精确控制蚀刻过程所有阶段的能力。AKT Endura 5500的紧凑设计，包括其专有的晶圆形状识别单元，使其能够适应标准晶圆厂空间，显着降低晶圆厂地板空间要求。AMAT ENDURA 5500是一种创新工具,即使是要求最苛刻的流程,也能实现可扩展性。其先进的蚀刻源技术,可实现卓越的修剪精度和即时蚀刻速率控制.通过现场诊断，该机能够实时监控蚀刻条件，提供准确的工艺信息以保持薄膜均匀性。此外，它的专利MultiGas?技术允许快速气体转换,并且能够在极少的重新训练下同时蚀刻O形圈和vias。该工具的过程控制和自动化功能包括多区反应室、自动装卸机器人、热反应性离子蚀刻羽流管理功能以及多种气体输送系统。它全面的过程控制还可以实现更高效的过程优化,并可以快速调整设置以适应不断变化的蚀刻条件。而且，ENDURA 5500能够同时蚀刻多层，允许在一次运行中处理多个基板。此高级功能显着简化了流程设置,并加快了生产时间。此外,它的集成错误处理和高级过程控制提供了预防性维护,减少了计划外的停机时间和潜在的维修成本。AMAT Endura 5500干蚀刻反应堆是要求苛刻的过程中的一项优秀资产。其先进的功能和可扩展性使其成为蚀刻复杂设计规则的宝贵工具。该模型令人印象深刻的功能使其能够以经济的价格产生高质量的结果,从而使其对需要精密蚀刻工艺的客户特别有利。