二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9030866 待售
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ID: 9030866
PVD system, 8"
System software ver: C8.622
System Platform: Endura
Wafer Shape: SNNF
EMO Type: Turn to Release
CE Safety Mark: English
CIM Configuration: SECS
SBC Version: V452
Mainframe Configuration:
Buffer Robot Type: HP
Buffer Robot Blade: Thin Metal
XFER Robot Type: VHP
XFER Robot Blade: Original Metal
Lid Hoist: Yes
Status Light Tower: RYG
Remote Monitor: Table Mount
Sub-System Configuration:
(1) Chiller: Model: None
Cryo Pump Type: CTI Cryo- on board 8F
Cryo Pump Power: 3 Phase
(2) CompressorS
Compressor Type: 9600
Loadlock Configuration:
Loadlock Type: Narrow body
Auto Rotation: Yes
Cassette Type: 8"
Mapping Function: WFM
Vent Type: Variable Speed
Fast Vent Option: Yes
LLKs NB w/Auto Tilt
A Pass-thru
B Cool Down
E O/D (Std)
F O/D (Std)
C PCII w/Cryo Std
D PVD TiN 101
1 PVD Tungsten (W) HT-ESC - Chamber has UV Flash for ESC E-Clean
2 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact.
3 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact
4 PVD Al/Cu SLT-ESC Complete
5 Iso-Valve (Manual) -
Bfr HP
Txfr VHP (Style Lid)
PVD Hot-Al Chambers: These are Water-Cooled Chamber bodies (can't use for other processes which use Wide-Body Chambers
Gas Information:
Gas Box Pneumatic Valve: Single
Pneumatic Valve Type: Veriflo
Manual Valve Type: Veriflo
MFC Type: FC-780C
Gas Line Out: Out The Back
Modules:
M/F Yes
Sys/AC Yes
EQ1 Yes
EQ2 Yes
Main/AC Yes
AC Dist Box Yes
Cryo Comp 3 - 9600
Heat Ex Yes, Neslab III
Pumps No Pumps included with any tools
Lift Hoist non-AMAT, Gantry & 250lb hoist
Umbilical Configuration:
Controller to Main AC: 50 Feet
Controller to Mainframe: 50 Feet
Mainframe to Generator: 50 Feet
Remote Monitor: 50 Feet
Mainframe to Compressor: 50 Feet
Main AC to pump: 50 Feet
AC Box to Heat Exchanger: 50 Feet
Controller to Gen Rack: 50 Feet
Gen Rack to Gen Rack#2: 50 Feet
Electrical Configuration:
Line Voltage: 200V
Full Load Current: 487A
Remote Transformer: No
Frequency: 60Hz
Missing Parts:
Chamber E: Orientor PCB
Chamber F: Orientor PCB
Chamber 2: Missing upper chamber lid
Chamber 3: Missing upper chamber lid
Chamber C: Missing upper chamber lid
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一个单一晶圆加工反应器，具有先进的功能，适用于广泛的半导体加工应用。这种直观设计的反应堆旨在最大限度地提高生产率和工艺灵活性，使用户能够执行具有卓越工艺能力的非平面、平面和复杂的设备结构。AKT Endura 5500配备了由其先进的三区供暖制冷技术提供动力的无与伦比的热能力，使用户能够准确控制温度，在整个晶圆面上均匀反应。这种热性能进一步配备了均匀流动介质注入技术，提供了对工艺气体的精确控制和均匀分布。因此,用户能够以可重复和一致的性能实现最佳影片配置文件。反应堆的其他功能包括高可用性、减少停机时间和出色的过程控制。在安全和环境保护方面，AMAT ENDURA 5500符合UL/CSA等安全标准，具有像密封外壳这样的特点，以保护人员不受危险工艺材料的潜在影响。此外，反应堆还配备了先进的诊断工具，便于进行有效的监测以及额外的工艺验证。与传统的热过程相比，反应堆还提供了改进的过程均匀性和扩展的过程窗口，从而提高了灵活性和吞吐量。除了卓越的散热性能外,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500还为用户提供灵活的控制选项,并提供可编程的进纸/通风口选项和支持高效现场过程控制的高级I/O配置。此外，反应堆利用化学安全壳和低流量模式，以实现高效运行和优化产量。利用它的精密运动控制器，用户能够实现小的，但精确的运动控制与快速校准，并集成到第三方系统也是可用的。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是一个功能强大、用户友好且安全的反应堆，可最大限度地减少浪费和总体成本。它提供节能技术、卓越的散热性能、缩短的停机时间和出色的工艺控制,使其成为半导体行业的最佳选择。
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