二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9064236 待售
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ID: 9064236
System, 8"
Process CH. 3: AL, CH. D: PC2(Oxide Etch )
Software version Unknown
Wafer Shape SNNF
Wafer Cassette 8”PEEK Miraial
SMIF Interface None
Heat exchanger: none
Chamber A COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber B COOL(STANDARD COOLDOWN CHAMBER)
Chamber D PC2(Cryo Type)
Chamber E Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber F Orienter(ORIENTER WITH STANDARD DEGAS)
Chamber 3 AL(Wide Body)
Transfer:
Load LockA/B Type Narrow automated tilt out
Transfer Robot Type HP+
Transfer Robot Blade Metal
Buffer Robot Type HP+
Buffer Robot Blade Metal
Buffer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Transfer Cryo Type BROOKS 8116071G001
Chamber D:
Process Type Oxide Etch
Chamber Body Cryo Type(AMJ：0020-23249)
Pedestal Parts No. AMJ ：0010-20754
Lift Assy Parts No. AMJ ：0010-20753
Power Supply (kw) AMJ ：0190-70099
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 300sccm(SEC-4400MC)
Chamber 3:
Process Type AL
Chamber Body Wide Body(AMJ：0040-20195)
Source Type Standard
Target Type Unknown
Magnet Type AMJ ：0010-20225(Mechanical Fail)
Magnet Shim Size 0.5MM
Lift Assy Parts No. 0010-70271
Heater Parts No. 0010-12516
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Power Supply (kw) MDX-L12M-650(AMJ ：0190-21110)
Cryo Gate Valve Type 3Positon
Cryo Pump Type Enhanced(8116071G001)
Gas Pallet Configuration:
N2 MFC size 20sccm(SEC-4400MC)
N2 MFC size 100sccm(SEC-4400MC)
Cryo compressors:
(1) BROOOKS 8510, gas: He (99.999%pure)
(1) BROOOKS 8500, P/N: 8031348G001, gas: He (99.999%pure)
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种先进的顶级垂直热反应器，能够对多种材料进行高温退火、氧化和氮化处理，最常用于半导体和MEMS行业。该反应堆具有独特的双头设计，可以同时处理两个基板，并结合内置真空泵。AKT Endura 5500配备了最先进的加热元件和坚固的数字温度控制设备,可确保精确、均匀的热处理。该控制系统还允许在各种温度条件下进行平滑的坡度和台阶和驻留的加热剖面,并允许整合额外的加热元件以提高温度。AMAT ENDURA 5500还具有易于使用的直观图形用户界面、确保安全协议的内置互锁单元以及每个特定应用程序的各种可配置参数。APPLICED MATERIALS Endura 5500的设计采用了耐用的不锈钢结构，易于更换部件，并有多个气体入口用于清洗和反应气体的引入。反应堆还配备了90英寸的观景窗和可选的观景摄像头，以及机械升降机和举重/皮带机，方便装卸。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500能够加工直径不超过6英寸的晶片和基板，能够加工不同厚度的基板，包括标准基板和纤薄基板，最高工艺温度为1100 °C。这一卓越的反应堆还提供了出色的热均匀性、可重复性和基板配置的灵活性，使得AKT ENDURA 5500成为各种高温退火、氧化和氮化过程的理想选择。
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