二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9082608 待售
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已售出
ID: 9082608
HP PVD System, 6"
(2) Wide body with 11.3 source
(1) Standard body with 11.3 source
Narrow body load lock
Process: Al, TiN, Ti
(3) Process chambers
(1) PCII chamber
(2) Degas / Oriented chambers and TC monitor
VHP robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是为各种精密材料处理应用而设计的高性能反应堆。它是一种集成、模块化和可扩展的设备,提供卓越的性能和可靠性。AKT Endura 5500为工业和研究应用提供了最大的灵活性。它有一个精心设计的多层晶片装载和处理平台,最多可容纳八吨材料。该系统集成了流体输送、清洁空间和高真空硬件,能够处理从简单金属到复杂聚合物和陶瓷的各种材料。AMAT ENDURA 5500具有许多先进的自动化功能,包括专有的虚拟反应区(VRZ)视图,可在任何给定时间监视和管理反应堆过程。这允许对腔室条件进行自动化和预测控制。此外,VRZ视图还提供了一个用户友好的界面,用户可以使用可理解的图形和文本加载、评估和监视反应条件。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500提供方便的维护和可维护性,方便地访问所有部件进行维修。它得到各种先进功能的支持,如温度和压力控制,以及集成的电子日志和数据记录单元。该机还配备了内置的清洗工具,可以在关闭后进行快速清洗和回收。这样可以减少材料沉积,使使用者能够保持干净的基板,并减少所用材料的降解。APPLIED MATERIALS Endura 5500还具有集成的Kompakt资产,这是一个预先配置的用于控制电气和真空压力的模块化模型。Endura 5500还具有高功率脉冲射频和温度控制系统,用于优越的基板加热.该设备提供高精度的加热控制,确保在任何给定温度下均匀的基板加热。它还提供极其快速和精确的样品加热和冷却,允许更快的处理周期。总体而言,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500是专门为精密材料加工应用而设计的先进、高性能和柔性反应器。它通过高级自动化功能(如VRZ视图)提供卓越的可靠性和性能。AMAT Endura 5500具有易于维护和维修、快速清洗回收系统、高功率脉冲射频、温度控制等特点,是要求苛刻、精密的基材加工的理想选择。
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