二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9096874 待售

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图为 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 待售
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已售出
反应器
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Endura 5500
ID: 9096874
晶圆大小: 8"
System, 8" Process: Al/Ti and TiN (4) Chambers: (2) Process chambers Signal tower: 3-color Loadlock type: Nallow Auto Buffer robot: HP Buffer robot blade: std Transfer robot: HP+ Transfer robot: std VHP Robot Chamber A: PASS Chamber B: Cool Down Chamber E: Orienter Degas Chamber F: Orienter Degas Chamber 1: Al process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20225 Heater: Heater Shutter: n/a Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M RF/DC Gen2: MDX-L12 Gas N2: 100 SEC 4400 MC Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 2: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Gas N2: 20 SEC 4400 M Chamber 3: TI process Body: Wide Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20223 Heater: 101% Shutter: Yes Cryo pump Gate valve: 2-position RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 100 SEC 4400 M Gas N2: 200 SEC 4400 M Chamber 4: TI process Body: std Source lid: 8" STD Magnet: 0010-20258 Heater: Heater Shutter: N/A Cryo pump Gate valve: Cryo RF/DC Gen1: MDX-L12M Gas N2: 20 SEC 4400 M Gas N2: 100 SEC 4400 M Pump L/L A30W System: Leybold WSU151/D25BCS Cyro comp: 9600 Cyro pump: on board.
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种多室批处理反应器，设计用于在半导体晶片或光伏电池上制造薄膜。AKT Endura 5500的标准配置为五个独立的工艺室，每个室都有自己独特的一组可控参数来调节温度、压力、气流、可编程计时器和安全联锁。每个会议厅都可以针对正在运行的特定进程进行定制。AMAT ENDURA 5500的批次尺寸直径可达11.5英寸（29厘米），腔室总容积可达3.8立方英尺（109.47升）。ENDURA 5500主要设计用于反应性离子蚀刻（RIE）工艺,但也可用于其他薄膜处理,如溅射、物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。工艺室可以装载反应物气体，以便进行氧化物蚀刻、氮化硅蚀刻、硅酸磷玻璃蚀刻、低压多晶硅蚀刻等蚀刻工艺。此外，Endura 5500还可用于氧化物、氮化物和光致抗蚀剂等沉积过程。AMAT Endura 5500的主要电源是三相交流电。反应堆内置了若干环境和安全特征，以限制危险气体的暴露。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500有一个可调的清洗循环以及一个洗涤器设备和一个真空系统，以保持工艺室的清洁和安全。它有一个紧急关闭开关和一个惰性气体回冲洗单元，以控制处理过程中的任何火灾。APPLIED MATERIALS Endura 5500专为多种工艺配方而设计，具有精确控制时间、温度、压力、真空、气流等可控参数的能力。反应堆可以手动操作，也可以通过可编程控制下的闭环反馈机操作。灵活、用户友好的软件使用户能够优化流程参数以实现所需的结果。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500能够处理复杂的半导体器件几何形状,包括更高的纵横比和深沟结构。它的模块化设计使操作员能够方便地对反应堆进行故障排除和校准。此外,它的全自动控制工具功能允许用户创建和存储流程配方,优化流程参数,并轻松复制结果。
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