二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112161 待售
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ID: 9112161
晶圆大小: 6"
优质的: 1988-2000
PVD System, 6"
Process: STD AL/TiN
Wafer type: SNNF
Buffer robot: HP
Transfer robot: HP
Wide body load lock with auto-tilt in/out
Sliding sensor kit: no
Chambers A/B:
Chamber type: cool down
Chamber lid: metal lid
Cooling method: By PCW / By Gas
Chamber C:
Chamber type: empty
Chamber process: PCII
RF generator / DC power supply 1: LF-10
RF generator / DC power supply 2: CPS-1001
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: 361C
Chamber D: -
Chamber E: Orient / Degas
Chmaber F: Orient / Degas
Chamber 1:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18M
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chambers 2/3:
Chamber type: wide body
Chamber process: TiN, P/N: 0010-21844
RF generator / DC power supply 1: MDX-L12
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chamber 4:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
1988 - 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种超高真空设备，其设计功能是在惰性大气中的极端温度下处理材料。这类系统在高科技研究实验室和工业生产中用于生产和加工精密产品。这一特定单元能够承受高达2000 °C的温度和超高真空范围内的压力。AKT Endura 5500的腔室设有多个接入点，用于插入材料、样品和供气。该机器的设计目的是达到较高的吞吐量速率，并将被加工材料的降解降至最低。腔室由石英管组成，允许紫外线通过表面催化反应或化学吸附研究。该腔室还包含一个加热的机械手臂，可以在腔室周围精确移动样品并以变化的压力速率和温度进行编程。AMAT ENDURA 5500反应堆采用先进的多区加热工具供电。这样就可以实现近乎无扩散的加热，从而能够在生长硅、硼和磷化铵等材料所需的材料之间快速切换温度。加热资产还与机械手臂配合使用，在区域之间移动材料，同时准确快速地加热它们。该型号采用用户友好功能,包括触摸屏、用于快速温度和程序调整的嵌入式配方软件,以及紧急压力关闭等安全功能。总体而言，APPLIED MATERIALS Endura 5500反应堆是加工、制造、研究材料的高效通用设备。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500利用其超高真空、先进的温度能力和多区加热，能够以最小的降解度快速、精确地处理各种材料。
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