二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9123230 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
已售出
ID: 9123230
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6" 1996 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种单晶片、批处理型反应堆,用于多种工艺和应用。它是一种多功能设备,在紧凑、高效的系统中提供多种多功能功能。AKT Endura 5500的主要特点是模块化设计,允许从小、单晶片操作到大批量型操作的配置;这使得它适合许多工业、学术和研究设施。它还配备了两个允许遵守特定加工参数的再循环泵,其低运行温度导致过程稳定性和寿命增加。AMAT ENDURA 5500还提供了一系列适合客户需求的流程。这些包括热氧化、氮化、退火、蚀刻、金属沉积和生长过程。它配备了多个淋浴板组件,可根据客户的需要量身定制,并可用于生产单层至多层结构。反应堆还可以配置为与各种沉积过程一起工作,如化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)和溅射沉积。AMAT Endura 5500由随附的公用事业进一步增强。其中包括一个原位调谐功能,允许适当的工艺优化,以及板载电源,允许对每个工艺进行精确控制。它还具有AKT Logix 3.0软件,该软件为控制所有流程的条件提供了最佳平台,并允许对所有流程进行先发制人的监控和诊断。最后,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500配备了多个安全功能,以确保设备的安全运行。其中包括通过反应堆底盘的直接热路径、视觉监视器和用于监控机器压力和温度的压差监视器。所有这些功能使识别任何潜在风险和识别异常工具功能变得容易。总而言之,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是在高效、紧凑和灵活的资产中处理一系列材料的理想资源。它的模块化设计使得它适合任何大小的操作,其多用途的功能使它能够执行多个过程。随附的公用事业和安全功能进一步增强了它,使其成为一个安全、可靠和节能的模型。
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