二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810 待售
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ID: 9134810
Frame
(1) Pre clean chamber only (Ch# C,D) 2Ch
Loadlock Narrow / Auto
Buffer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Transfer robot HP robot assy / 8" blade pivot assy
Ch#A pass 8" pedestal
8" Base
8" Lift hoop assy
Ch#B Cool 8inch Pedestal
8" Base
8" Manifold
8" Lift hoop assy
Ch#E Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#F Orient Degas 8" Orient / Degas assy (Degas lamp module missing)
Ch#C PCII:
8" PCll assy
CPS 1001S
Ch#D PCII:
8" PCll assy
(2) 9600 Compressors
(2) 3P AC Controllers
(1) 25ft set of cables
(1) System Rack #1 (Components all Missing)
(1) Gen Rack #1
(1) Edwards QDP40 dry pump
Main AC is missing
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是为广泛的先进材料处理应用而设计的高功率反应堆设备。AKT Endura 5500采用了最先进的设计,可实现高吞吐量和过程灵活性。该系统提供了使用射频源同时为多个处理室供电的功能,并且可以由LP-GF14源或ICP-GF14源供电。该机组独特的设计允许气体分配和气体流量调节的高速。该工艺室被封闭在一个热稳定的真空容器中，该容器具有石英窗，可进入工艺室进行晶圆、感光器和样品检查。腔室内衬CVD涂层烧蚀材料，确保最大性能和可靠的工艺控制。该腔室还可以安装一个可选的车载红外摄像头，以提供对工艺平面参数的实时监控。AMAT ENDURA 5500配备了嵌入式过程控制软件包,可轻松创建配方和记录数据。使用图形用户界面设计工艺配方,使用户能够轻松地可视化用于成功沉积速率的参数和配方。AMAT Endura 5500先进的电子控制也提供了卓越的过程重复性和性能质量。快速脉冲特性可实现快速片状电阻和薄膜厚度控制,而微调调整则可实现氧化物沉积比优化等特定特性。集成的数据记录包存储详细的流程数据。此外，AKT ENDURA 5500采用集成离子束清洁技术进行基板调节，结合集成清洁气体输送需求，提供了工艺沉积前从晶片中清除污染物的优化方法。Endura 5500是一款多用途的工具，适合广泛的先进材料加工需求。它提供了一台可靠、高性能的机器,具有各种流程集成功能,旨在最大限度地提高流程性能质量并降低刀具的复杂性。应用材料ENDURA 5500是任何先进材料加工需求的理想选择。
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