二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9137601 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是为半导体薄膜应用而设计的业界领先的沉积设备。它提供卓越的过程控制和均匀性，快速的循环时间和优异的等离子体性能。AKT Endura 5500是低k电介质膜、氮化物钝化层、扩散层和防潮屏障等先进沉积应用的理想选择,是任何沉积工艺的可靠且经济高效的工具。AMAT ENDURA 5500具有高性能的Kemlon等离子体源，能够产生高达250瓦的射频功率。这种强大的光源使用户能够生成高密度等离子体,从而在大型面板上提供精确控制的均匀厚度。该系统还配备了具有自适应运动控制功能的机器人晶圆处理单元，从而在整个过程中实现更高的精度和均匀性。此外，AKT ENDURA 5500提供出色的机器控制。通过工具的高级过程控制功能，用户可以精确监控和调整沉积过程的所有参数。这些参数包括气流和压力、基板偏置和射频功率水平。该资产采用了带原位厚度监视器的串联过程监视模型,使用户能够在该过程继续进行时近乎实时地测量薄膜厚度。APPLIED MATERIALS Endura 5500还设计用于快速的工艺周期。设备的快速基板-传输系统和多区热室允许用户快速加热和冷却他们的晶片，从而减少循环时间。它还为晶圆载体和盒式磁带提供方便、自动的连接。该部门的自动化处理技术可最大限度地减少人为干预,从而实现更快、更准确的流程周期。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500是需要高精度、快速循环时间和可靠等离子性能的行业专业人士的理想沉积机。应用材料ENDURA 5500非常适合薄膜和先进的半导体工艺,是任何沉积实验室必不可少的资产。