二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9142611 待售
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ID: 9142611
晶圆大小: 6"
优质的: 1992
Sputtering system, 6"
Process: PVD
(3) Chambers
Load lock type: Wide
1992 vintage.
AKT AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种高度先进的化学气相沉积(CVD)处理工具,设计用于半导体器件制造实验室环境。这种600mm的工具采用热壁CVD方法,通过将反应物气体引入工艺室内,在基材上相互作用形成所需的产物层。AKT Endura 5500反应堆提供模块化设计,让研究人员根据自己的需求定制设备。该反应堆采用围绕中心基板支架建造的四室设计运行,使研究人员能够在单个循环中在单个基板上生成多层薄膜。AMAT ENDURA 5500通过高效和优化的加热系统提供出色的控制水平,使其能够达到高达1100 °C的温度。它还具有先进的流量控制功能,有助于实现准确和可重复的蒸气流量,以确保基材的均匀覆盖。此外,该工具的高级温度控制单元有助于确保加工室内的温度分布均匀.这有助于在基板上保持一致的温度均匀性,这对于创建高质量的薄膜层至关重要。当用于沉积应用时,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500能够一次生成多层薄膜,大大提高了实验室的吞吐量。由于其强大的监控机器,它也易于监控过程条件,使得应用材料ENDURA 5500适用于手动和自动操作。此外,该工具具有高度柔韧性,可用于介电、金属蚀刻、集成钝化层等多种沉积应用。总而言之,AMAT ENDURA 5500是一种先进的CVD处理工具,旨在通过高质量和高精度的薄膜层沉积来实现半导体器件的生产。这款600mm的工具提供出色的温度控制和高度精确的流量控制,有助于确保基材的均匀覆盖。它还具有强大的监督控制资产,并且由于其模块化设计而具有很高的灵活性,使研究人员能够根据其特定需求定制模型。
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