二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9145241 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种高性能反应器，设计用于先进的沉积和蚀刻应用。具体而言，AKT Endura 5500可在热和等离子体增强沉积和蚀刻应用中实现薄膜和厚膜沉积过程以及具有挑战性的蚀刻过程。该反应堆是为CVD和PECVD工艺步骤设计的，用于硅、氮化钛、砷、钨和铝等应用。AMAT ENDURA 5500反应堆是一种开放式框架，设计用于先进的沉积和蚀刻工艺需求。这种开放式的设计可以更方便地访问系统的内部工作,从而便于维护和更快地重新配置系统。它灵活的体系结构提供了系统集成功能，具有各种可互换的组件系统，可以很容易地互换以适应不同的需求。ENDURA 5500拥有多种热能力，包括射频、Helicon感应耦合等离子体（ICP）、直流电（DC）和脉冲直流偏置模式。其可调工艺参数范围从工艺压力、源气体脉冲停留时间和射频功率。它还具有获得专利的Z轴晶片托架，可以同时容纳多达12个晶片，从而提高了均匀性和更高效的处理。这种设计还可以方便地隔离沉积和蚀刻步骤。AMAT Endura 5500已被证明是一个可靠的系统,具有多种功能,可让用户完全控制其工艺条件。它还具有直观的用户界面,为用户提供实时的过程监视、趋势分析和预测分析,以确保过程优化。这些功能使用户能够灵活地拨入自己的自定义设置并优化其流程性能。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500虽然比同类系统更昂贵,但它具有真正的可扩展性,能够满足广泛的需求,从高吞吐量的生产运行到更专业的工艺步骤,使其成为许多半导体和面向纳米技术的组织和大学选择投资的有吸引力的选择。