二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9151687 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是为半导体晶圆加工而设计的生产线规模设备的顶端。这种半导体可以处理扩散、沉积、蚀刻和氧化等最先进的制造工艺。AKT Endura 5500反应堆配备了各种技术，以帮助满足严格的过程控制标准，如自动压力控制（APC）、Endura Control和Industry 4.0支持的Smart Manufacturing。APC技术允许在系统内快速准确的压力和流量控制，从而能够快速、精确地完成流程。Endura Control单元提供机器监控,以便可以立即检测和处理任何不希望发生的事件或性能变化。此外,Smart Manufacturing功能使过程集成和调度更加高效。AMAT ENDURA 5500具有允许在蚀刻过程中采用几种不同气体输送策略的功能。例如,远程等离子体具有很高的功率效率,特别有助于无功离子蚀刻,而非补偿等离子体则可用于提供更精确的低功率操作。为了帮助优化蚀刻或沉积过程,AMAT Endura 5500具有一个现场监视器,可提供有关过程参数（如温度和压力）的实时反馈。气箱和淋浴台工具具有防止气体泄漏和其他污染的密封机构，使其非常可靠。ENDURA 5500反应堆带有各种安全特性，减少操作失误的风险。其中一些功能包括一系列警报和传感器,这些警报和传感器被监视为bya控制站、有毒的清除资产和复杂的控制模型。应用材料ENDURA 5500反应堆也根据SEMI和ISO提出的最新安全标准进行认证。它也符合包括美国环保局在内的各种环境法规的要求。总之，APPLIED MATERIALS Endura 5500 Reactor是一种高度先进的设备，旨在提供精确控制和高效性能的制造工艺。其运用多种气体输送策略的能力，结合其安全性和环境特性，使其成为半导体晶圆加工的理想工具。