二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9164914 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种手载化学气相沉积（CVD）设备，专为广泛的应用而设计。该系统由真空室、高压气体溷合单元、机器人分配机和控制器组成。AKT Endura 5500主要用于半导体、微电子、微电子、能量和光学/光子元件材料的沉积和蚀刻。AMAT ENDURA 5500使用CVD工艺将薄膜沉积在基板上。CVD是利用材料蒸气与底物的气相反应产生沉积膜的过程。这一工艺常用于制造金属互连、屏障层、栅极电介质等半导体材料。应用材料Endura 5500可沉积多种材料,包括氧化物、氮化物、碳化物和金属等。AMAT Endura 5500采用三级高压气体溷合工具。这一资产可以精确控制沉积过程中使用的工艺气体。在典型的沉积过程中，溷合模型用于将气体移动到发生沉积反应的基板表面。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500配备了机器人分配设备，将工艺材料移动和分配到基板表面。机械臂用于将材料定位在精确的位置,以便均匀分配。Endura 5500还包括一些支持安全操作的功能,例如压力传感器和自动安全关闭功能。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500由集成系统所有组件的控制器控制,允许操作员监视和控制过程。该控制器与行业标准软件包（如MATLAB和LabVIEW）兼容,以实现高级流程控制和自动化的单元集成。总体而言，AKT ENDURA 5500是一台先进的CVD机器，设计用于材料沉积和蚀刻的广泛应用。该工具配备了能够精确控制过程并提供安全操作的功能。此外,ENDURA 5500与用于资产集成和流程自动化的行业标准软件包兼容。