二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9182838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种多站化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于生产均匀半导体薄膜。AKT Endura 5500利用先进的设计原理，确保了薄膜沉积的均匀性和可重复性。它利用两个独立的加工站，一个用于沉积，一个用于蚀刻，使用户能够在一个工具中通过多个步骤快速处理晶片。每个工艺站由一个"工艺室包络"和一组工艺模块组成。工艺室包络由气体分布歧管、工艺管、真空室等组件组成。这些组件控制气流和压力，气体均匀性和均匀性，以及系统清洁度。AMAT ENDURA 5500利用高性能的管子、旋流器、泵和阻尼器，这些都是专门为确保薄膜的均匀沉积而设计的。该系统旨在最大限度地减少与升华材料的化学相互作用，吸收和消散过程中产生的热量进入周围区域。它还有助于降低颗粒物污染的风险。ENDURA 5500是高度可定制的,它提供了多种功能,旨在实现对基板温度、工艺气体和压力水平的精确控制。还包括热壁加热块、气体输送歧管、蚀刻淋浴头等多种可选配件，针对特定应用优化沉积工艺。室内环境在沉积过程中受到高度控制，因为所有过程参数都是通过工具的XRH软件精确监控和控制的。这使得影片质量能够得到一致和统一的维护。应用材料ENDURA 5500是为最小的维护和最佳的寿命设计.它可以在现场提供全面服务,并且易于升级。此外,它的统一性在业界备受推崇,并提供高吞吐量和高成本效益。对于需要可靠和先进的CVD技术的半导体制造商和研究设施来说，它是一个极好的选择。