二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9188759 待售
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已售出
ID: 9188759
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
PVD System, 8"
Narrow body load locks
PCII: Pre-clean
Wide body chamber: G12 source, B101 heater
Wide body chamber: G12 source, E-chuck
HEWLETT-PACKARD Robots buffer / Transfer
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber A: PT
Chamber B: CD
Chamber 2: WB With shutter
Chamber 3: WB
1997 vintage.
AKT (AMAT) AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是为材料沉积和蚀刻应用而设计的集成半导体反应器。它具有在先进的沉积和蚀刻加工中提供卓越的吞吐量、精度和控制的长期记录。AKT Endura 5500改进了半导体加工,具有大的等离子体腔室,允许扩大源气量,对工艺和辅助气源进行高精度温度控制,以及最先进的软件功能。该反应堆能够支持各种工艺,使客户能够提高薄膜和高密度互连(HDI)制造的效率和可扩展性。AMAT ENDURA 5500是一个模块化平台,支持多个沉积和蚀刻过程。它是一款具有多种优势的高生产率设备,包括5米宽的大弧室、保证多源性能一致的气体注入系统,以及提高产量和提高工艺重复性的高精度气流管理单元。此外,该机器还具有集成的起重室和辅助组件,这些组件完全可定制以满足客户需求。APPLICED MATERIALS Endura 5500还具有集成的高矩阵瞄准(HMA)对准工具,可快速准确地检测组件。HMA使得保证基板均匀性更容易,保证晶圆放置和对准精度。此外,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500还配备了先进的运动控制功能,能够快速制造多层,同时确保精确的对齐和均匀性。AKT ENDURA 5500是一种高度可靠、动态、行之有效的资产,可以帮助客户在半导体行业中实现沉积和蚀刻加工的最高性能水平。模型的模块化设计允许完全可定制的硬件功能,这些功能可以根据客户的需要轻松定制,满足其特定的流程要求。凭借其先进的技术,Endura 5500提供了最高的精度级别,同时提高了吞吐量和流程可重复性。它是寻求灵活性、控制性和质量的现代半导体制造中心的理想选择。
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