二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9191119 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种超高真空、单晶圆行星反应器，用于先进的半导体加工应用。利用生产级设备架构，AKT Endura 5500反应堆可以部署在300毫米或更大的织物中，使先进材料能够沉积成精密的纳米。AMAT ENDURA 5500反应堆配有一个预先对准的双万向节旋转和固定头，带有集成的石英查看窗口，方便操作员进入，并在整个运行过程中提供畅通无阻的视图。这样就可以在处理过程中对晶片进行连续监控,从而能够监控沉积速率和目标厚度。由于集成了Quartz Viewing窗口，该系统可以用于金属和介电膜的单晶片或批处理模式。APPLICED MATERIALS Endura 5500反应堆配备了先进的机器人技术和多种载波配置，既方便集成又可扩展性，实现了多种工艺应用。它采用高速机器人，具有低摩擦轨道单元，提供平稳的操作，高效的吞吐量，并在整个过程中精确控制。这允许在单个生产环境中进行全面的配方测试和优化。ENDURA 5500反应堆还与多个气体分配系统兼容，为先进的工艺应用提供了灵活性和可扩展性。采用可变扩散泵压力和调节阀的整合式真空机，在适应连续和脉冲气体引入的同时，保持过程的稳定性和均匀性。这提供了对过程微妙之处的前所未有的控制,例如气体/源成分、气体流量、薄膜厚度和衬里剖面。Endura 5500反应堆能够进行广泛的沉积过程。可用于纳米结构的高精度膜沉积，下一代晶体管的掺杂栅极形成，晶圆钝化的超光滑膜沉积。反应堆也适用于NAND Flash、DRAM等高级内存设备架构。此外,它还支持屏障和钝化膜、粘合层、超薄门氧化物、后端电介质、扩散屏障/蚀刻阻止层以及源/排水扩展。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500反应堆具有强大的自动化、高精度和低拥有成本,满足了当今先进半导体加工应用中最关键和最苛刻的要求。