二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9192923 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是专门为蚀刻应用而设计的先进半导体反应器。该反应堆结合了物理、化学和热过程，创建了一个高精度的底物处理系统，能够蚀刻具有非凡一致性、速度和均匀性的小结构。反应堆设计有一个大直径的腔室和一个小的工艺窗口，提供了改进的访问和均匀性。它具有卓越的晶圆运动控制，确保了一致和可重复的过程，以及一个双盖系统，以最佳的安全和方便。AKT Endura 5500配备了自动化的Robomatrix FOUP（前开口统一吊舱）接口，允许同时处理多个FOUP。它还提供了广泛的高级工艺能力，包括高压和低压蚀刻、沉积（通过溅射或CVD工艺）、退火和清洁。这样可以非常精确地快速高效地生产和维护各种设备结构,即使在要求最苛刻的蚀刻应用程序中也能确保质量。AMAT ENDURA 5500配备了板载高级流程控制系统（APCS）,可确保批次和流程之间的重复性。APCS提供对所有工艺参数（包括压力、温度和气流）的实时监控,并向用户提供反馈。这有助于最小化处理时间,最小化停机时间,并提高设备产量和质量。总体而言,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500是高精度蚀刻应用程序的理想选择,它提供了一套高级的工艺功能和强大的APCS帮助。借助AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500,用户可以享受高效、安全、可靠的蚀刻解决方桉,以满足其要求最苛刻的应用程序的需求。