二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9199428 待售

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ID: 9199428
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种工业级等离子增强化学气相沉积(PECVD)反应器,用于广泛的工艺应用。它提供了统一、可靠的流程功能,并具有满足当今高级流程要求所需的灵活性和生产率。AKT Endura 5500是一种低压PECVD反应器,旨在在大型、非均匀特性上实现最佳沉积速率和均匀性。它能够在各种基板上产生卓越的均匀性、光滑的涂层和出色的表面光洁度。设备的多种功能使用户能够轻松调整流程,以最好地满足他们的特定需求。AMAT ENDURA 5500配备了先进的自动化过程控制系统,对过程参数提供精确可靠的控制。它可以处理各种气体以及载气和掺杂剂的构型。集成单元设计确保了沉积气体的过程稳定性和无气泡输送。AKT ENDURA 5500提供了广泛的等离子体源和工艺室,以满足用户的沉积要求。这包括一个能达到最大沉积速率和稳定性的高性能磁控管源,并且可以容纳多达九种不同的工艺气体。此外,该机还通过25个气体输送阶段提供均匀的过程气体输送.ENDURA 5500提供了特别紧凑的设计。这样可以方便地将设备集成到生产线或刀具设置中。反应堆的平台旨在最大程度地减少与安装和维护相关的复杂性。此外,该资产的软件功能对用户友好,便于定制以满足独特的流程要求。总体而言,Endura 5500反应堆为任何应用提供了先进的性能和可靠性。它的设计和特点为用户提供了最大的灵活性和准确性,以实现最佳的过程结果。
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