二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9202549 待售
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ID: 9202549
晶圆大小: 8"
PVD System, 8"
Accessories not included
NESLAB III
Robot: HP (Buffer and transfer)
Loadlock: Narrow body
Chamber A: Pass thru
Chamber B: Cool down
Chamber C: Preclean PIK II
Chamber E / F: Orienter / Degas
Wide body: AlCu, TiN
Water cool: MCA+ / 9600 Compressor.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种创新的半导体加工设备,设计用于各种基材的精密等离子体加工和蚀刻。它支持纳米级的高级材料加工,是高性能设备制造的理想选择。AKT Endura 5500的高级体系结构具有广泛的可配置过程模块。这允许用户调整流程参数,以精确满足个别应用程序的需求。该系统还提供多种气体控制选项,允许在一个单元内使用各种加工气体。这些过程包括蚀刻、剥离、氧化、氮化和其他相互扩散过程。AMAT ENDURA 5500的特点是改进了反应室的设计,允许更好的过程均匀性和对室内温度的精确控制。该腔室采用自动清洁机设计,减少了停机时间,提高了生产率。Endura 5500的高效强健电源控制单元(PCU)旨在确保精确、稳定和可重复运行。PCU允许微调应用过程的RF和DC参数。这允许用户快速优化其流程设置。ENDURA 5500先进的气体输送模块确保了对各种工艺气体流动的统一和可重复控制。该模块允许用户精确控制气体流量和压力,确保准确和可重复的过程结果。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500具有自动化的软件工具,便于过程控制和资产优化。软件还提供了可调过程参数,允许用户实现预编程配方。这有助于用户快速更改配方并实现快速的流程优化。AMAT Endura 5500是一款多功能机型,能够处理各种工艺要求。凭借其先进的功能,该设备非常适合高性能设备制造。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500反应堆是一个先进而强大的系统,为广泛的材料加工应用提供卓越的性能。其先进的体系结构、高效的电源控制和自动化的软件单元使其成为实现高生产力和精确结果的理想工具。
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