二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203801 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种用于半导体和微电子工业的最先进的蚀刻沉积工艺反应堆。这座反应堆的设计是为了获得最高水平的稳定性，从而在工业上产生最高质量的结果。其基本配置包括腔室、泵送/加工气体歧管、电源和装载机/卸载机子系统。所有这些系统都被封装在一个坚固的外壳中，该外壳具有阻燃性能，而且声音衰减，从而实现最高的安全标准和性能。腔室具有均匀的垂直和径向侧壁诱导气体/等离子体均匀性，均匀的过程气体分布，出色的反应堆清洁能力，以及优越的光学接入。它不需要等离子体源来达到最高性能，并且耐用到足以承受热冲击。泵送/处理气体歧管为输入过程气体以及歧管清洁和维护提供控制和压力。它有一个最小的十倍压差整个腔室的工艺功能，以及最佳可重复。反应堆的电源可以产生高强度电容耦合等离子体（CCP）或电感耦合等离子体（ICP）进行蚀刻。电源有六个独立输出，能够提供高等离子体能量密度、最佳均匀性和可重复性，以及具有后蚀刻清洁的均匀蚀刻轮廓。装载机/卸载机子系统允许对基板和晶片进行高效处理。它具有单通装载机/卸载机，使晶片能够快速高效地装卸。该系统还提供精确的晶圆和基板处理，其紧密的机械公差。AKT Endura 5500反应堆是设计清洁、可重复、均匀沉积或蚀刻工艺的理想选择。它能够产生超高精度的工艺，从而以最少的浪费获得最高质量的结果。其最先进的设计确保了材料的最大效率和半导体和微电子行业性能的长寿。