二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203802 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种最先进的半导体反应堆设备，旨在赋予用户实现纳米级结构光刻图样的能力。它结合了先进的纳米光刻和等离子体蚀刻技术，以满足技术上最具挑战性的制造环境的需求。该系统集成了一个完全集成的平台,以紧凑的外形提供了一系列流程功能,以适应各种应用程序。AKT Endura 5500是一款功能强大、高速、基于空缺的单元，设计用于纳米电子的开发和生产。该机由多个部件组成，包括4轴电动级、静电夹具、级控制资产、射频发生器、高真空室。为确保最佳模型和工艺性能，AMAT ENDURA 5500配备了车载集成曝光控制设备；该系统监测暴露持续时间、传递到基板的能量量和电场强度。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500还装有一个获得专利的静电夹紧装置，可确保图样结构的质量得到精确和统一的复制。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500还包括一台能够产生高达5 kW功率的大功率风冷射频发电机。这确保了必要的等离子体功率可用于蚀刻过程和低于100 nm的特性。该机器还配备了等离子体沉淀源，能够处理坚韧的材料。此外,集成软件还提供多种功能,使客户能够从单个访问点监视和控制该工具。在Endura 5500提供的半导体工艺能力中，该资产能够处理大量材料，包括氮化物薄膜、多晶硅、铜、金属氧化物等。该模型还配备了自动过程控制和可调谐参数，以补偿正常过程变化。这种设备的多功能性也使得它吸引了各种各样的应用，包括CMP、光刻、基板粘合、图样传递和钝化。APPLICED MATERIALS Endura 5500的设计也确保了它高度可靠、耐用、易于维护和操作。该系统采用温度控制，并配有集成传感器和反馈回路，以确保每次运行均匀的处理条件。此外,由于其自我诊断功能,该设备能够实时检测任何故障并向用户发出警报,从而减少了停机时间。最后，AMAT Endura 5500代表了现代纳米电子学技术的巅峰。它的集成平台在很小的空间内提供了一系列的流程功能,其高级功能使其成为各种应用程序的理想选择。