二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9206635 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一款设计用于先进半导体加工的高性能反应性离子蚀刻器（RIE）。该反应堆专为表面加工应用中的超高均匀性而设计，提供均匀精确的深度控制。AKT Endura 5500包括一个用于储存和管理多种气体的气柜、一个用于快速基板装载的载荷锁定室、发生蚀刻的反应室，最后是排气歧管，该歧管在气体释放之前降低了室内的压力。AMAT ENDURA 5500利用双频、高频电源产生精确的等离子体进行蚀刻。它还具有先进的等离子体源，其设计目的是产生更均匀的蚀刻轮廓和更少的颗粒污染。高度稳定的等离子体源允许对现代设备世代的掺杂浓度水平进行精确控制。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500允许用户选择多个蚀刻配方，以适应不同的设备堆叠架构。通过组合多个食谱，用户能够遵守广泛的歌剧过程。ENDURA 5500的设计考虑了安全性、可靠性和生产率。综合监控系统快速检测异常过程条件，自动停止反应堆运行。为确保操作安全可靠，Endura利用先进的排气技术控制腔室压力。这种压力控制对于在蚀刻高长宽比器件时提供精确的蚀刻深度控制非常重要。再者，APPLIED MATERIALS ENDURA 5500採用多级涡轮分子泵系统，维持室内低基压。这确保了低颗粒背景，同时利用了广泛的蚀刻气体溷合物。等离子体产生的亚微米尘埃颗粒也在内部收集，以尽量减少长期污染的风险。最后,Endura 5500配备了专用的配方编辑器软件,使用户能够轻松创建和保存自己的配方。这允许用户快速建立处理流程,并根据其特定要求进行调整。总之，AKT ENDURA 5500是一种先进、自动化、反应性的离子蚀刻器，专为先进的半导体加工而设计。其先进的等离子体源在表面处理应用中提供超高均匀性，而其多级涡轮泵则保证了尽可能低的粒子背景。最后，借助专用配方编辑器软件，用户可以轻松创建和保存自己的配方。