二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种高性能反应器，设计用于处理半导体制造过程中复杂的材料加工。5500是一种高度先进的设备，能够执行化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）和远程等离子体蚀刻（RPE）等多种工艺。它为每个应用程序提供严格的过程控制，具有低压、高沉积速率和出色的均匀性。5500是为高产量和最大成本效率而设计的。采用直接陶瓷加热和主动沥青控制，提供快速加热时间和优异的工艺重复性。它还有一个先进的冷却系统，从反应室中进行了优化的热去除，以防止对底物的热损伤。AKT Endura 5500还具有用于电感耦合等离子体应用的集成射频功率单元。这样可以精确控制等离子体功率,从而在降低功率水平和降低损坏沉积速率的情况下实现先进的蚀刻过程。5500配备了先进的搬运机，允许基板的快速装卸、更快的循环时间和提高的吞吐量。它还具有一套全面的应用功能，包括蚀刻、沉积和植入。该工具为每个应用程序提供模板，提供安全和可重复的处理，几乎不需要操作员干预。AMAT ENDURA 5500是一种功能强大且可靠的半导体制造工具,可为用户提供更高的产量和成本效率。它具有卓越的工艺重复性，对等离子体参数的精确控制，以及一系列的应用能力。5500以其先进的特性和可靠的性能，是半导体加工的理想选择。