二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228344 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种先进的加工半导体工具，专为高生产力蚀刻和沉积而设计。该设备具有很高的可重复性、高均匀性和最高的生产率。该工具有两个独立的腔室，允许同时蚀刻和沉积过程，以及远程等离子体源操作提供额外的灵活性。内置的过程监控软件允许操作员同时调节两个腔室，确保结果一致。AKT Endura 5500配备了最先进的多压路机架构，将蚀刻沉积的多重功能整合为一个集成系统。ETCH&DEPOSITION （E&D）排气室和工艺室是共用的,保证了高产量和长寿命。该装置还具有温度控制能力，有助于在蚀刻和沉积过程中保持准确的温度。AMAT ENDURA 5500构建了大量的专业特性，使其适合各种应用。它配备了一个AutoGas™的自动化气体输送机，提供增量稀释控制和过程开发过程中减少体力劳动。该工具还提供经过优化的低压晶片转移，以最大程度地降低晶片粒子产生的风险。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500由于具有超高密度的功率沉积能力，是制作厚度和密度精确的薄薄材料层的绝佳工具。该资产在物料利用方面也非常高效，是节约成本的一大优势。APPLIED MATERIALS Endura 5500已被用于成功蚀刻沉积多晶硅、氧化硅、铝、铜等材料。它为用户提供了一个经济的解决方桉，以满足他们的半导体生产需求，以及可靠的性能。该工具的长期可靠性和解决问题的能力使其成为面向生产的工作的绝佳选择。