二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228722 待售
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ID: 9228722
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
PVD Systems, 8"
Wafer shape: SNNF
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Transfer chamber: VHP Robot
Wide body loadlock
(4) Chambers
Buffer robot: HP+ Metal blade
Transfer robot: VHP With metal blade
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cool down
Chamber C: Pre clean
Chamber E & F: Orienter / Degas
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP TTN With bias ESC
Chamber 4: TN Durasource TTN A101
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480 - 380 V
System power: Variable / 150 kVA
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种创新的反应堆，旨在满足现代半导体制造工艺的需求。该反应堆将高质量的制造和坚固的工程与先进的材料和技术相结合，以提高可靠性和工艺重复性。AKT Endura 5500采用了功能齐全的基于PC的控制设备,它提供了广泛的编程功能和功能,允许灵活、精确的过程控制。AMAT ENDURA 5500旨在满足所有薄膜涂层、沉积和蚀刻工艺要求。这种紧凑的模块化系统为各种工艺提供了接受和集成多种材料和技术的能力。自动腔室控制减少了操作人员的手动调整要求，同时提供了适应各种流程的灵活性。直观的图形单元也可用于完整的操作控制。Endura 5500的标准特性包括坚固的钟形罐设计,带有四个边缘焊接的平板衬里,以实现高效的工作环境。反应堆还包括可调节的一触式升降机、自动腔室装卸和全密封双快门。为了额外的安全，该机还配备了自动真空泄漏检测工具。ENDURA 5500的工作温度范围为-20°C至+300 °C，基板温度为-20°C至+170°C。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500配备了强大且节能的频率交换直流电（DCS）电源，用于精确的过程控制。资产还能够执行一系列沉积和蚀刻过程，从快速热处理到化学气相沉积，以及电阻加热、扩散等等。凭借先进的能力和高质量的制造，AKT ENDURA 5500是现代半导体制造工艺的理想选择。它设计为可靠和可重复,并具有准确的过程控制,以提高效率。反应堆满足了半导体工业的严格要求，为当今最苛刻的工艺提供了一个特殊的模型。
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