二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9274513 待售
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已售出
ID: 9274513
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
PVD System, 8"
(4) Process chambers
(2) AL Chambers
(2) Ti/TiN Chambers
(2) Degas orientor chambers
Signal tower
System power supply
Control unit
CTI-CRYOGENICS Cryo-compressor
Cryo-pump
Main frame:
Load lock type: Narrow
Buffer robot type: HP+
Buffer robot blade
Transfer robot type: HP+
Transfer robot blade
Components:
System controller
Generator rack
Main AC
Cryo compressor
NESLAB Heat exchanger
Chamber A:
Process type: PASS
Chamber B:
Process type: COOL
Chamber E:
Process type: Orientor
Chamber F:
Process type: Orientor
Chamber 1:
Process type: Hot-AL
Chamber body: Standard
Source lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal: A101 HTR
Shutter
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L12 RF / DC Generator
Chamber 2:
Process type: TIN
Chamber body: Wide
Source lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L12M RF / DC Generator
Chamber 3:
Process type: TIN
Chamber body: Wide
Source lid
Heater / Pedestal
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L18M RF / DC Generator
Chamber 4:
Process type: Hot-AL
Chamber body: Standard
Souece lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal: A101 HTR
Shutter
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L6 RF / DC Generator
Missing parts:
Chamber 3:
Magnet
Massflow
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种高通量等离子体蚀刻反应器，通常在半导体工业中用于基材蚀刻等关键过程。5500被设计为提供卓越的工艺控制，在整个基板区域卓越的均匀性。这座反应堆的坚固设计使多个配有多种工艺气体的腔室得以实际达到预期的效果。它设计为在1 Torr （1.33 kPa）的压力范围内运行，没有泄漏，并配备了先进的源功率匹配设备，允许无限制的等离子体匹配，确保整个蚀刻区域的最高均匀性水平。AKT Endura 5500由其自动化控制系统提供动力,在要求苛刻的蚀刻应用程序上最大限度地提高了吞吐量和生产率。工艺监测和控制系统能够控制各种工艺参数，包括气体输送、压力、流量、掺杂剂/源沉积和蚀刻速度。同时，它的低压操作最大限度地减少了颗粒的产生，提高了工艺产量和装置的均匀性。AKT Endura装置还包含先进的共溅射和第三代唇形技术，可提供高精度的掩蔽和目标控制。这些允许您精确控制所有类型材料上蚀刻层的轮廓。这使用户能够精确控制蚀刻轮廓，确保关键晶片的特性统一且定义明确。AMAT ENDURA 5500是为高工艺可靠性而设计的,在较少的维护会话中获得了好处,从而优化了生产寿命。它具有远程、互锁的维护功能,使用户能够在不中断过程的情况下执行维护或校准任务。此外,机器还采用机械和热成像工具进行设计,以帮助检测肉眼可能看不到的隐藏损坏,在发生电气短路风险时提醒操作员。ENDURA 5500作为一种先进的蚀刻资产,在设计时考虑了安全性。经SEMI S2认证的三级安全模型设计,无需紧急停止开关。因此，消除了危险、不受控制的压力损失风险。AMAT的APPLIED MATERIALS ENDURA 5500设备提供了一个强大的工具，用于制造需要精密和高质量的复杂元件（半导体行业中的Ulta-High-K蚀刻）。凭借其坚固的设计、卓越的工艺控制能力和安全系统，这款等离子蚀刻反应堆是一项强大的生产资产，将帮助您获得最高质量的成果。
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