二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9283205 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是为半导体制造而设计的多功能反应堆。该设备设计用于加工各种基材，包括硅、铝、铜、氮化物和蓝宝石。该系统能够实现低温快速热处理、快速热结晶以及高达400°C/秒的温度上升/下降速率。AKT Endura 5500采用革命性的双室设计,允许批量或连续基板加工。下室，即加工室，能够承受高达1200 °C的温度。上室充当石英管成形室，可容纳多种长达六英寸的基板。该机组拥有先进的燃气控制机，拥有十条独立的燃气管线，允许用户精确设置燃气流量。AMAT ENDURA 5500的最大载荷容量为8个4英寸晶圆或2个8英寸晶圆。该工具有一系列加热选项，如Theta和E-beam，以及直流和射频电源。该资产采用集成冷却模式，确保基板安全运行和均匀冷却。AMAT Endura 5500设备配备了安全警报器和机械晶片断裂判别器等先进的安全功能。该系统符合安全方面的SEMI标准,可配置为在洁净室环境中运行。该设备提供了完整的文档和软件,允许用户配置机器和监视流程参数。总之，ENDURA 5500是一种用途广泛且可靠的工具，提供广泛的基材加工能力。集成的安全特性、先进的气体控制和精确加热选项使资产非常适合各种需求。该型号适用于洁净室，符合SEMI标准。