二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9352786 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反应堆是一种多室沉积蚀刻设备，设计用于大批量生产应用中快速、均匀、可重复的工艺。该系统具有专有的模块化工艺室,旨在与现有和未来的材料兼容和灵活。它还提供了一系列蚀刻和沉积解决方桉，增加了均匀性和过程控制。AKT Endura 5500反应堆是一个设计独特的双室干蚀单元，第一室提供沉积样和低能反应性离子蚀刻（RIE）处理，第二室提供蚀刻和沉积，蚀刻速率更高。本机兼容多晶硅、SiNx、a-Si： H、AlN、AlGaAs等多种不同材料。它非常适合LED显示器、MEMS、纳米技术、微流体和半导体等多种应用。AMAT ENDURA 5500反应堆提供了快速斜坡上升和超高温均匀性等多种优势能力。它具有多室结构和高状态过程控制机制，提高了过程的准确性和可重复性。此工具还提供高级监视功能,这些功能使用复杂的工具集实时提供晶圆级条件的直接反馈。利用自适应过程控制和过程方差控制技术，大大提高了过程控制和晶圆均匀性。此外，AMAT Endura 5500具有最小的可逆材料损耗，可以优化加工室的蚀刻配方，从而最大限度地提高蚀刻均匀性。Endura 5500反应堆是一种经济高效且用户友好的资产，旨在提供卓越的蚀刻和沉积性能、增强的均匀性以及对工艺参数的更大控制。APPLIED MATERIALS Endura 5500具有先进的监控功能、与不同材料的兼容性和高容量的功能,为各种应用程序和行业提供了全面的解决方桉。