二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9373104 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一种高性能、低成本、高端的直列物理气相沉积（PVD）反应器，用于先进的薄膜加工。主要用于沉积金属层，如铜、铝、钛、钨等，也可用于沉积各种其他非金属膜。AKT Endura 5500提供多种特性，使其适合半导体、显示屏、太阳能和LED生产等多种应用。它是一种用于薄膜沉积的高度可靠、全自动的串联设备，由于其在整个工艺区域内的温度和压力控制均匀，为用户提供了改进的工艺均匀性。这样可确保整个批次的薄膜厚度均匀一致。由于内置了AMAT ENDURA 5500的高级流程控制,手动流程可以实现自动化,从而减少了制作高质量、高级影片所需的时间和工作量。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500还提供了较低的拥有成本,并通过优化晶圆到晶圆的循环时间提供了最大的吞吐量。ENDURA 5500以其固定的热壁设计，实现了最大的均匀性、稳定性和寿命。夹套系统将沉积过程中蒸汽和其他污染物进入工艺区域的风险降至最低。APPLIED MATERIALS Endura 5500还提供板载源和屏蔽监视器,可确保源和屏蔽压力不断受到监控,以确保过程的可重复性和一致性。此外，内置高速数字离子束枪允许材料快速准确的沉积，以实现极致薄膜沉积。Endura 5500还具有集成的流程控制器和流程监视器,允许用户在单元操作期间简化控制、诊断和数据分析。AKT ENDURA 5500配备了自动化的源交换机，允许用户在需要时快速更换源，设计方便维护维修。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500是一种高性能、经济实惠、简单可靠的PVD输出反应器装置，专门设计用于在基板上输送各种薄膜层。它提供卓越的性能和较低的拥有成本。