二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293719859 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种用于制造半导体和其他电子产品的高性能蚀刻等离子体反应器。AMAT Endura CL的设计与传统的蚀刻等离子体反应器相比，具有更大的工艺灵活性和更高的吞吐量。APPLIED MATERIALS Endura CL配备了两个大功率等离子体产生级，提供增强晶圆材料的溶解速率，允许更快的蚀刻时间。Endura CL可以在高达15mTorr的压力下运行,从而能够执行各种过程。此外，反应堆是完全自动化的，允许用户从控制室控制晶圆温度、压力和等离子体参数。反应堆采用特殊的两级尖端等离子体源建造。这种设计有助于确保在低压下等离子体流动稳定均匀，这是蚀刻性能的关键因素。两阶段源还有助于减少化学品排放和气体使用，有助于降低成本并保持清洁的工作环境。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL能够同时处理多个晶片，总可处理面积高达193 cm2。它还能够处理一系列不同的晶圆尺寸，从10 x 10mm到8 x 8"。此功能使用户能够优化吞吐量并提高效率。AMAT Endura CL还具有先进的自动化机器人系统，允许用户实时监控蚀刻过程。该系统使用一系列传感器和摄像头来测量蚀刻速率、安全性和质量。它还可以检测过程中的任何问题，及时向用户发出警报，防止晶圆进一步受损。总体而言，APPLIED MATERIALS Endura CL是一种强大可靠的蚀刻等离子体反应器，能够提供卓越的性能和吞吐量。它还设计为易于使用,具有完全自动化的系统,只需最少的用户干预。这使得Endura CL适用于研究实验室和生产操作。
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