二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293807107 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种化学气相沉积(CVD)反应器,用于薄膜沉积。它使用了发生沉积过程的圆柱形等离子体膨胀区。反应堆配备了多种特性,可实现精确的层控制和更好的沉积均匀性。它有一个有两个嵌入式源的加热系统,石英棒和嵌入式水冷。这有助于保持精确的温度范围,并能够更好地控制沉积过程。它的灵活性促进了不同薄膜的不同工艺条件,包括温度、压力和气流。AMAT Endura CL也能够製作具有广泛动态范围的高品质影片。反应室有一个石英圆顶和两个电极,放置在反应堆的两侧。电极用于产生等离子体场,有助于分解前体气体分子,形成均匀的沉积。APPLICED MATERIALS Endura CL还配备了气体分销商和阳极,通过控制工艺气体分布帮助改善膜的均匀性。此外,它的过程控制单元(PCU)提供了对沉积过程的精确控制,包括精确的压力水平、气体流量和功率设置。Endura CL旨在以可靠和高效的方式实现可重复、受控、稳定的沉积过程。这使得它适用于广泛的应用,包括半导体蚀刻、光学涂层和微加工。AMAT/APPLICED Materials Endura CL的多用途沉积使其成为精密沉积细线薄膜的理想选择。AMAT Endura CL通过与AMAT生产线的无缝集成,提供了极大的灵活性和最大的价值。
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