二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9191120 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9191120
Chamber AL TxZ CPI-VMO.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种先进的PECVD反应器,旨在实现下一代半导体器件的制造。AMAT Endura CL配备了可配置的工艺室架构,使其能够轻松适应各种工艺配方。它提供了与现有基板、光学膜、涂层和金属的卓越兼容性。APPLICED MATERIALS Endura CL具有创新的屏蔽双炉设计,可实现先进的温度控制,使工艺室的温度在广泛的工作温度范围内保持在精确的水平。由此,反应堆可用于制造厚度和均匀性控制严密的光致抗蚀剂、聚硅等材料的均匀层。此外,Endura CL还配备了新的多束淋浴台设备,通过均匀分散加工气体,显着降低了腔室压力波纹,从而提高了整体蚀刻速率和均匀性。该系统还通过最大限度地减少颗粒堆积来减少总维护时间。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种高端PECVD反应堆,为最关键的设备制造应用提供无与伦比的性能。它有一个先进的光学单元,允许高度精确的薄膜厚度测量和处理精密涂层具有紧密的公差范围。AMAT Endura CL还提供了广泛的监控功能,允许用户监控工艺参数和腔室条件。APPLICED MATERIALS Endura CL是一种高度先进的PECVD机器,可实现最高质量和最可靠的半导体器件制造工艺。其独特的双炉设计和坚固的淋浴台工具提供了无与伦比的多功能性和高度的过程控制。其精密的光学资产有助于精确的薄膜厚度测量和均匀性。此外,其用户友好的界面和监控功能使其成为要求最苛刻的设备制造应用程序的绝佳选择。
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