二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9200110 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种先进的硅基物理气相沉积（PVD）反应器，常用于半导体器件制造。其设计目的是在大批量生产中实现先进的沉积处理技术。AMAT Endura CL PVD反应堆采用模块化平台设计，为配置广泛的工艺集成提供了极好的灵活性。前置加载、基于腔室的体系结构可轻松容纳各种工具组件。这为用户提供了方便的访问和维护,同时允许单独定制,从而允许在单个平台上进行高级流程集成。反应堆利用先进技术在一系列基质上实现最高质量的沉积。反应堆使用了一系列工艺气体，包括高反应性有机硅烷，以实现对薄膜结构和均匀性的严格控制。在较高的温度下，可以得到较高的沉积速率，甚至更密集的薄膜。此外，反应堆能够快速加热和冷却底物，从而使生产能够快速周转。APPLICED MATERIALS Endura CL反应堆具有多种先进的材料处理和废物管理特点。材料在反应堆顶部附近装载，然后由一系列机械臂通过系统移动。废物管理由一个闭环材料回收系统管理，该系统允许无污染作业和更高的产量。反应堆的设计还可以实现良好的工艺控制，对温度、压力、气流和压力安全壳进行精确控制。通过对这些参数的高级控制,用户可以实现严格的质量要求,并在一系列基板上实现更大的均匀性。总体而言，Endura CL是为硅基大批量生产而设计的先进PVD反应器。它为用户提供了为各种过程集成定制的极好的灵活性,从而实现了具有快速周转时间和高产率的高级沉积技术。利用精确的工艺控制参数以及先进的材料处理和废物管理，用户可以在一系列基板上实现出色的薄膜均匀性。