二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9236845 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL是半导体工业中用来加工和制造薄膜结构的一种化学反应器。用于化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）和等离子体增强沉积（PED）的材料制造薄膜。该反应堆的设计具有很高的均匀性和可重复性。AMAT Endura CL采用了可编程快门阵列的合乎要求的淋浴源设计.这允许在大面积基板上均匀和可重复地沉积薄膜。源设计也进行了优化，以尽量减少副产物的形成，确保高产率。该腔室经过设计，可实现快速的热斜坡上升和冷却时间，使沉积过程能够快速高效地完成。APPLICED MATERIALS ENDURA CL反应堆使用坚固的过程控制设备,能够自动控制过程参数。这允许在沉积过程中精确控制温度、压力和气体流量。该系统还支持在该过程中使用最多三种前体气体和两种反应气体的灵活性。这使得胶片的化学性质能够根据特定的应用要求进行调整。Endura CL还配备了原位等离子体发生器，旨在确保可重复的等离子体蚀刻过程。这可以精确控制蚀刻过程，并有助于减少沉积过程中的底切量。该单元还支持不同材料的蚀刻，包括金属、氧化物、氮化物和其他半导体。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL设计方便维护。机器的腔室具有一个设计，能够方便地去除源和地板组件。这样可以快速访问工具的内部组件,并实现快速高效的维护操作。该资产还具有高级诊断模型,能够快速诊断任何故障,并有助于防止计划外停机。最后，AMAT Endura CL是一种化学反应器，设计用于沉积用于半导体应用的薄膜。该设备具有高度的均匀性和可重复性，具有自动化的过程控制以及快速的坡道和冷却时间。该系统还具有等离子体蚀刻能力和坚固的诊断单元，有助于确保可靠的操作。