二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237067 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种设计用于生产的高性能化学气相沉积（CVD）反应器。它被用于薄膜沉积和加工、半导体制造及相关行业，是先进制造工艺的组成部分。AMAT Endura CL配备了许多功能，以最大限度地提高精度和效率，如封闭式工艺室、双路径处理能力、优化冷却以及内置的疏散设备。封闭式工艺室允许严密控制的环境，具有独特的设计，促进温度分布均匀，温度稳定性优越。双路径处理可实现高度高级、多层和多材料沉积。冷却系统可以进行优化，以节省能源和工艺时间，内置疏散单元，使气体能够快速高效地从腔室中清除。这保持了气体的纯度，允许一致的沉积。APPLIED MATERIALS Endura CL还具有高级工艺监控功能。温度、液体和气体流量以及压力都受到监控，从而创建了一个近乎实时的过程视图。这提供了对机器性能的可见性,从而实现了更高的一致性和精度。Endura CL的整体过程稳定性为+/-1摄氏度，支持多种沉积过程，包括金属有机物、电化学、原子层和物理气相沉积。它还能够生产各种材料，从金属到氧化物再到电介质。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL是一个先进的CVD解决方桉,旨在帮助实现效率最大化、提高吞吐量并提供一致的高质量结果。凭借先进的工艺监控、双路径处理能力和优化的冷却，它是精密IC、MEMS和薄膜处理的理想工具。