二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237267 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反应设备是一种高效可靠的高通量反应器，旨在让客户优化工艺和材料性能。AMAT Endura CL是一种先进的自动化低压化学气相沉积（LPCVD）解决方桉,旨在经济高效地生产精确的在线多层薄膜。APPLICED MATERIALS Endura CL是一个垂直的、自下而上的沉积系统,它以每次运行300 mm晶圆的速度同时处理一个或两个目标。它具有用户友好的界面和直观的工作表,允许用户在处理平台和快速访问产品参数之间轻松传输晶圆。Endura CL的设计目的是在短周期内提供高产率,并能够在高达800°C的温度下同时处理不同的薄膜。高级控制器可监控温度、工艺气体流量和压力设置,以精确控制工艺条件,并具有可重复和一致的结果-即使在处理多个批次时也是如此。腔室配有全自动射频匹配网络，可确保最佳等离子体均匀性，从而改进工艺控制和产量。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL使用户能够生产出具有高度一致性和可重复性的复杂而精确的多层薄膜。该单元可以沉积一系列通常用于半导体和显示底板应用的高密度薄膜，包括抗反射、钝化、p-间隔器、屏障和金属薄膜。AMAT Endura CL还包括实时端点监控机（REMS）和高级均匀性映射（AUM）等高级诊断工具，帮助用户快速调整流程参数，优化生产产量。APPLIED MATERIALS Endura CL是一款用户友好、用途广泛的反应工具,旨在满足先进制造业不断变化的需求。这是一个可靠和经济高效的方式，以生产精确的多层薄膜具有一致和可重复的结果。