二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9251713 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种先进的沉积反应器，用于沉积由金属和复杂有机化合物组成的多种薄膜。它配有集成腔室设计，对其设计的应用非常有利。AMAT Endura CL采用独特的工艺室，允许使用多个偏移，以确保整个基板上沉积速率的最佳均匀性和准确性。该工艺室被玻璃盖完全封闭，提供了一个均匀且无污染的环境。应用材料Endura CL具有多种高级特性,包括高温工艺能力,可在高达1000 °C的温度下沉积。这提供了更高的沉积温度，均匀性，层厚度和速率控制，以及提高步骤覆盖和提高吞吐量。此外，Endura CL还采用了创新的和用户可编程的高级沉积配方，允许在一个周期内实现复杂的厚度。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL能够同时运行多个配方，允许在一个周期内沉积多层厚度不同的材料。这减少了对额外处理步骤的需求，并可以显着减少沉积时间。AMAT Endura CL配备了一个原子束源，用于增强沉积控制，从而确保在基板上一致的外延生长和均匀的薄膜沉积。它还采用了多区流体动力寻址设备，在整个工艺室提供均匀的气体分布。这样可以提高系统的效率、可重复性和生产率。APPLICED MATERIALS Endura CL的设计具有较低的沉积速率能力，允许厚度低至几纳米的层沉积。综上所述，Endura CL是一种先进的沉积反应器，为各种材料的沉积速率提供了卓越的精度、均匀性和准确性。它具有独特的工艺室、高温能力、原子束源和多区流体动力寻址单元。该机器可用于复杂的多循环沉积，能够控制低至几纳米的沉积速率。这使得AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL成为纳米级薄膜沉积和工艺参数精确控制的理想选择。