二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9275824 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL （Cluster Reactor）是一种先进的化学气相沉积（CVD）聚类工具，用于半导体工业中，用于先进的晶圆加工。AMAT Endura CL凭借其专利设计，提供快速、均匀、可靠的晶圆加工，低粒度生成。APPLICED MATERIALS Endura CL能够同时进行热和等离子体辅助CVD工艺以及蚀刻和灰分工艺。这种灵活性允许设备用于多个晶圆处理步骤。反应堆采用垂直7室设计，并装有自动晶圆处理系统。主室高度为6米，直径为1.2米，非常适合大小晶片的均匀加工。腔室最多可容纳8英寸晶片，最大容量为200个晶片层。该室设计用于化学保形沉积，与粉末和液体前体兼容。腔室的设计包括一系列错综复杂的石英插件和盖，以防止晶圆刮擦和粒子产生。Endura CL的设计可提供高达每小时500个晶圆的快速处理速度,并能在低功耗、无成本维护的情况下实现高吞吐量。该工艺室是完全密封和加压，以防止污染和保持微粒产生到最低限度。反应堆有一个可调的气流控制和温度控制单元，使用户能够调整沉积过程的条件。该机还配备了先进的等离子体源和控制器，用于精确控制等离子体辅助蚀刻和灰分工艺条件。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是按照最严格的质量标准构建的,保证了可重复的工艺性能。它是为了满足最先进的晶圆制造工艺的要求而设计的，非常适合在生产环境中使用。配备了最新的安全功能和警报器，确保持续安全高效运行。