二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281524 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactor是专为先进微电子器件制造而设计的高度先进的集群工具。该反应堆利用可扩展的集群系统，为客户提供提高设备性能的灵活性和可升级性。AMAT Endura CL反应堆采用了Sub-Stride Chamber （SSC） Technology等一系列伟大特性，使得晶圆对晶圆加载误差大幅减少。这项技术的基础是采用低成本、低维护、低静电容量的腔室填充工艺。APPLICED MATERIALS Endura CL Reactor也利用程式沉积（PD）特性。这一特征确保了特定层的均匀沉积，并允许单层和数字化沉积多达四层。这样可以更快、更准确地沉积。Endura CL反应堆还提供独特的等离子体边缘隔离（PEI）技术,以提高设备性能。此功能有助于最小化设备泄漏,增加蚀刻速率,并使沉积更加平滑。此外，该反应器还具有先进的原位端点和薄膜质量感应功能，可实现最佳、实时的蚀刻和剥离效果。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL Reactor也设计用于业界领先的工艺一致性和稳健的工艺控制。这是通过使用互锁的动态四区间隙轨道加热器和原位端点检测实现的，这允许精确的剂量和温度控制。AMAT Endura CL反应堆还建有业界领先的晶圆处理系统，以支持高吞吐量、快速接入、低污染和易于维护。该反应堆的设计提供快速冷却和预热时间，允许快速基板转换和优秀的晶片到晶片的吞吐量。APPLICED MATERIALES ENDURA CL反应堆为先进的微电子制造提供了最佳的性能和能效.这座反应堆的集成特性结合了高级工艺控制能力，使得亚微米级微芯片和其他复杂的装置结构的制造变得最为可靠和高效。