二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281539 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL设备是为先进集成电路（IC）制造而设计的单晶圆工艺工具。该系统经过精心设计,可提供功能、技术、质量和可靠性的理想组合,同时实现大面积晶片的经济高效制造。它包括一个高级控制器,它提供自动和手动过程优化功能,以最大程度地减少周期时间和用户干预。AMAT Endura CL单元结合了几个不同的标准工艺室和最新的等离子体源技术，并基于先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）平台。机器使用高效的感应耦合等离子体（ICP）源在腔室中生成均匀、均匀的等离子体，提供从晶圆到晶圆的一致过程窗口。这样就实现了可重复的过程控制,这对于改进高级制造的产量和可靠性至关重要。此外，APPLIED MATERIALS Endura CL工具使用高真空溅射源进行薄膜沉积，消除污染，确保高质量的工艺效果。该资产是针对各种流程要求而设计的。它最多支持六个流程模块,并且可以在Cleanroom或Class 1环境中处理测试。它还能够"即时"监测和控制这一过程，以取得最佳结果。通过各种工艺配方和创新工艺控制，可以实现工艺的时空均匀性。Endura CL模型提供精确控制的加热、冷却和对流系统，以确保整个腔室的温度控制一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL设备中还提供高吞吐量、精确的晶圆处理和安全的样品管理功能。采用直观的自动晶圆处理系统,实现了快速样品传输.晶圆模拟器也可以用来消除手动尺寸测量的需要，减少数据采集中的错误需要。AMAT Endura CL单元经过专门设计,可降低成本并优化周期时间,同时提供可靠的制造质量。机器还有一个全面的技术支持和培训计划作为后盾，确保用户拥有操作工具的知识、工具和支持。新资产旨在为经济高效的高级IC制造提供单模块平台。