二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9313580 待售

AMAT Endura Cluster （CL）反应器是一个单晶圆、高温、高真空的过程室。这种创新的电容器稳定电感耦合等离子体工具是为满足最具挑战性的制造需求而设计的，提供了高工艺一致性、生产率和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反应堆采用垂直几何设计，以确保目标晶片在整个区域内暴露于均匀的等离子体条件下，允许在很大的晶片区域上非常严格的控制过程参数。EnduraCluster反应堆的高真空环境对于实现可重复的过程结果以及确保最大组分寿命至关重要。低压降低了系统内元素的扩散，允许更快的基板加热和冷却，并吸收过程中任何不需要的颗粒。可变压力和温度范围允许各种不同的过程，包括蚀刻、沉积、条带、ALD和CVD。AMAT Endura CL使用专利的感应耦合等离子体源，赋予其优越的均匀性和稳定性。电极设计的簇状构型导致等离子体电流均匀，因此蚀刻速率或沉积速率甚至遍及整个晶圆。电容器稳定的电源确保电流水平在整个过程中保持一致，从而产生可重复的性能和优异的收率。在过程控制方面,APPLIED MATERIALS Endura CL提供了卓越的可重复性和高精度。该系统先进的分布式反馈控制系统确保配方参数的准确度高，每次都产生精确、可重复的制造结果。通过预先扫描的敏感器倾斜技术进一步增强了精度控制，使晶圆弓最小化，基板覆盖率最大化，最终导致加工更加均匀。Endura CL是满足各种先进制造需求的首选产品。其智能可靠的平台使其成为许多苛刻应用的去到反应堆。通过AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL提供的可靠、可重复和统一的流程与其智能系统相结合,使其成为任何最先进的生产环境中必不可少的工具。