二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一种材料沉积的反应器。它设计用于硅基沉积系统，如CVD、PECVD和ALD。AMAT Endura CL通过热墙垂直向下的陶瓷衬砌缸设计运作。此设计可实现晶片表面的卓越均匀性、改进的就地清洁（CIP）能力以及长期耐用的操作。反应堆由几个部件组成，如加热器、源气体、淋浴头、HF/RF偏置、灯丝、阳极、栅极和挡板。APPLICED MATERIALS Endura CL中心的电阻加热元件由钼丝（或钨丝）组成。此元件由高达3.25 kW的直流电源供电,温度可高达925°C。加热器能够进行多种过程，包括外延生长、薄膜沉积和热退火。源气体通过连接到反应堆顶部的气体歧管送入Endura CL。最常用的两种气体是硅烷（SiH4）和乙硼烷（B2H6）。过程中最多可使用四种气体。对流速和腔室压力进行了仔细监测，以确保最佳沉积条件。反应堆顶部的喷头设计成将气体均匀地分配到反应室中。HF/RF偏置、灯丝和阳极结合，提供了蚀刻晶片表面的电势。网格和挡板用于包含生成的等离子体。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反应器广泛应用于硅片的制造过程，从薄膜沉积到热退火。坚固的加热器和源气体的结合使得AMAT Endura CL成为大批量生产的可靠高效的反应堆选择。它能够沉积质量优良、均匀性提高、吞吐量更高的薄膜。应用材料Endura CL是长期高效生产的理想选择。