二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #293625477 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP是为等离子体处理和化学气相沉积（CVD）应用而设计的高性能过程反应器。AMAT Endura HP是Endura CVD系统标准线的升级，能够显着提高许多反应堆配置中的底物吞吐量。APPLICED MATERIALS Endura HP具有独特的高压高温（HPHT）蚀刻室，配备了最新的先进等离子体和CVD工艺，使生产过程具有灵活性，提高了晶圆表面的均匀性。HPHT腔室采用高档SS304不锈钢、优越的氧化铝绝缘材料构成，与其他标准CVD系统相比提供优越的均匀性。通过降低清理和维护成本,此设计也更加高效。Endura HP配备了石墨增强感应耦合等离子体（GEICP）源，可调以达到最优反应堆性能。GEICP源提供了良好的等离子体均匀性，提高了晶片与晶片的一致性，并对等离子体和沉积过程进行了更精细的控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP还提供精密的温度控制功能。它可以直接控制工艺室内任何位置的温度和压力,以便针对特定的应用程序或晶圆类型定制不同的工艺。AMAT Endura HP可以配置为运行多个过程模块和高级材料沉积算法。这提供了卓越的生产多功能性，最大限度地提高基板吞吐量的好处，同时优化层厚度均匀性。这样可以提高产量,降低拥有成本,提高晶圆质量.APPLIED MATERIALS Endura HP还包括端点监控功能和高级分析软件,可提供对流程性能的详细见解。总体而言,Endura HP是一个高级高性能CVD工艺反应堆,专为提供性能、生产力和便利性的最佳融合而设计。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP反应堆具有先进的GEICP采购和复杂的工艺控制和温度控制功能,可提供卓越的工艺一致性、可重复性和生产潜力,同时缩短工艺时间并提高拥有成本。