二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #9085295 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP是一种用于确保许多先进微电子设备的可靠晶圆制造的工具。它是一个由蚀刻/灰室和沉积室两个特征组成的建筑，两者都采用了先进的内置等离子体源和腔室设计。等离子体源有助于产生反应性气体，如碳氟化合物、氢气和氮，然后与半导体材料反应并引起化学反应。这最终导致有效的沉积和蚀刻过程。AMAT Endura HP的腔室设计包括磁性辅助线圈，允许在整个反应堆腔室内实现一致、可重复甚至等离子体均匀性。它还具有负载锁定功能，允许用户在不使晶片暴露于反应堆外部环境的情况下加载和卸载晶片。此功能有助于在多批制造过程中保持过程稳定性和可重复性。APPLICED MATERIALS Endura HP的蚀刻/灰室可用于蚀刻和钝化二氧化硅和氮化硅等各种材料。基板还可以经受各种温度、压力和其他参量，以提高工艺质量。沉积室可用于沉积金属或电介质等材料，设计符合高精度和工艺重复性。该反应器的过程控制技术以先进的控制系统软件为基础，能够控制温度、压力和电压等参数，确保多批次的重复、最佳效果。这包括加载锁定和同步功能,以进一步提高流程可靠性。Endura HP反应堆还与多种危险气体兼容，允许远程用户访问，用于过程监测和维护。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP也可用于从低温到高温的广泛配方。炉室可在30-500 °C运行，并配有多个部件，提供均匀的温度分布和适当的控制。总体而言，AMAT Endura HP反应堆以其广泛的设计和先进的工艺控制技术，是许多微电子制造应用的理想选择。它提供了可靠和可重复的晶圆制造过程以及长期的可靠性和增强的性能。