二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II Aluminum Interconnect #293813004 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II铝互连反应器是一种基于等离子体的蚀刻设备，设计用于在大晶圆尺寸上蚀刻具有高度均匀性的铝膜。该系统能够产生精确和高分辨率的特性，而不会在铝膜中产生任何损坏的应力或污染。Endura II反应堆采用了精密的超高真空（UHV）环境和每秒20秒范围内的电源，打造出高质量的蚀刻单元。Endura II反应堆设计用于处理多种铝互连，既有单层结构，也有双层结构。为了达到一致的蚀刻速率和均匀性，Endura II可以调谐放电功率、电压和频率。该机还可以很容易地调整，以优化不同的结构和组成层。Endura II还采用了先进的晶片控制和对准技术，以确保晶片保持在所需的位置，过程处于控制之中。Endura II反应堆的建造效率高，拥有成本低。它包含了节省成本的功能,例如自动装卸、低级别维护要求以及改进的晶圆处理机制。它旨在以最低的停机时间和维护成本要求提供高产率。Endura II反应堆得到AMAT先进技术和综合服务的支持。这包括模拟的高级工艺解决方桉和一个全面的承诺监控计划,为客户提供对蚀刻工艺的完全控制。Endura II反应堆是铝互连制造商可靠高效的介电蚀刻选项。