二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587288 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种全自动、垂直管、单晶片蚀刻/清洁反应器，设计用于半导体晶片的精密蚀刻和清洁。该设备设计用于生产现代半导体集成电路和其他相关组件。AKT Endura II由一个集中控制器模块和气箱、歧管、转移模块、排气鼓风机等多个辅助部件组成。该系统能够处理各种类型的基材，如硅、玻璃、金属和塑料。它配备了船上过程控制、监测和数据采集系统。反应堆采用垂直管设计，允许在垂直方向上处理工件，以尽量减少重力载荷。该装置采用露天工艺室设计，在工艺室外设有气箱、歧管和转移模块。这种设计确保了不同气体溷合物的灵活性，以优化不同应用的蚀刻参数。该机既可加工平面晶片，也可加工非平面晶片，蚀刻结果均匀。该工具支持广泛使用蚀刻气体和化学物质，包括SF6（六氟化硫）、CF4（四氟甲烷）和Cl2（氯）。该资产还具有自动化的集中晶圆传输模型，确保晶圆处理的可重复性和一致性，并最大限度地减少污染的机会。它有一个集成的排气鼓风机，以保持恒定的工艺压力，供应体积，并消除空气中的颗粒。集成的热控设备保证晶圆温度均匀，针对不同的晶圆蚀刻参数进行了优化。集成过程监控和数据采集系统不断记录蚀刻和清洁过程的结果，允许对蚀刻和清洁过程进行实时优化，以保持较高的产品产量。该装置能够容纳一些可选的外围部件，如自旋冲洗仪器以及质量流和压力传感器。AMAT Endura II专为灵活、精确的半导体蚀刻和清洁应用而设计，使其成为生产现代半导体IC和其他相关组件的理想选择。该机结合了垂直管设计、自动化集中式传输工具以及实时数据采集和过程监控,使其成为满足半导体制造商蚀刻和清洁需求的高效可靠的工具。