二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种最先进的化学气相沉积系统，为进行广泛的化学反应和过程提供了强大而精确的平台。该反应堆是在化学环境中引入和控制气体种类的一种低成本、非热的手段。具有化学气相沉积、介电薄膜沉积、薄膜蚀刻、化学气体蚀刻等先进特点。AKT Endura II反应器使用多种注入反应室的化学物质，结合气态前体形成薄膜或蚀刻图样。微波发生器用于在低压下在反应堆中生成等离子体，促进化学反应。在薄膜沉积的情况下，反应物通常是聚合物或硅烷（SiH4）。底物放置在反应堆中心，反应物种从位于反应堆周边的出口注入腔内。然后将底物同时暴露于热能和化学能中，以促进薄膜沉积。在化学蚀刻过程中，使用了多种蚀刻剂，如氢氟碳化合物（HFCs）、全氟化碳（PFCs）和氟基等离子体。蚀刻剂可以结合起来，达到更大的蚀刻深度。等离子体由磁场产生，由改变线圈内的电流产生。这会产生等离子体，加速底物的化学蚀刻。AMAT Endura II反应堆装有多个传感器，可以精确控制反应条件和工艺参数。这些传感器用于测量阳极-阴极间隙、加热器温度、沉积速率、气体水平、过程气体压力和温度，以及在异常情况下能够检测和报警。APPLICED MATERIALS Endura II反应堆是工艺工程师的一种高度精确、经济高效的解决方桉。它提供了快速准确地准备薄膜沉积和蚀刻条件的能力，非常适合广泛的行业使用。该系统灵活灵活，可用于从太阳能电池到平板显示器的各种应用。