二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615240 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种反应堆，设计用于半导体及相关行业的多个CVD、蚀刻和扩散过程应用。它是一种先进的工具,能够提供卓越的流程性能、可重复的结果、更高的吞吐量和更长的使用寿命。AKT Endura II是一种直列RIE（Reactive-Ion Etch）工具，使用双或单微波RF（射频）发电机，为晶圆表面蚀刻提供必要的动力。2室配置允许在蚀刻过程中使用最多两种蚀刻气体。该工具具有线性扫描电子束（ESB），以解吸反应气体和精确控制蚀刻深度。ESB还协助支持结构较小的蚀刻。AMAT Endura II的Endura RIE（E-RIE）技术提供了半导体结构的统一蚀刻，同时最小化了端点依赖性。APPLIED MATERIALS Endura II提供了完整的过程控制功能,如电源控制、温度控制、流量控制、曝光时间控制和反应性离子蚀刻。它还提供了高度的基板灵活性，允许易于适应新的工艺环境。Endura II专为蚀刻和沉积应用而设计，使用户能够在同一腔室中以单步操作执行两个过程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II配备了允许过程自动化和优化的专有嵌入式软件。该软件还有助于确保过程的可重复性、提高总体产量以及提高IC制造的可靠性。该工具还具有内置的硬件和软件安全防护措施，以确保流程和人员的安全。此外,它的模块化设计允许轻松安装、设置和维护。AKT Endura II专为生产优质半导体器件而打造，提供卓越的工艺控制和优化功能。其紧凑的占地面积和高效的操作使其非常适合生产车间和研发应用,而用户则受益于可靠、可重复的结果和更高的吞吐量。