二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是为先进的材料沉积过程而设计的高度先进的反应器。它能够沉积多晶硅、硅的、Pt/Au、high-k/metal-gate、中间介电层等各种材料。它拥有高端集成电路产品的高通量非视线生产,为半导体行业提供了前所未有的生产力和灵活性。AKT Endura II是一个大型集群工具，配置了多达四个独立的反应堆，排列在X-Y中，配置了多达52个热局部输送系统。结合Endura控制控制台,可在5-500 nm范围内实现可靠而精确的多过程沉积。反应堆还提供可配置的工艺耦合高通量晶圆清洗。它具有统一的加工能力、全方位的源到基板能力和全面的安全特性。该反应堆具有工艺灵活性，允许对低至250°C的基板温度和高达+/-1000V的基板偏差进行全面热控制。这反过来又允许沉积I.C.产品经常需要的错综复杂的高纵横比特征。它还具有独特的射频调制能力，能够在先进的I.C.s生产过程中对介电层和Pt/Au或其他材料进行三维图样绘制。它还具有三个可互换的气体注入模块，能够在一个周期内对惰性气体室进行气体溷合调节或改变。AMAT Endura II有一个基于决策的系统，利用传感器和诊断工具的反馈来显示过程参数和监测有价值的系统完整性信息。这使反应堆能够快速了解和适应环境环境、温度和压力等一系列参数。它还有助于防止因意外情况而发生停机。最后,APPLIED MATERIALS Endura II利用了一个直观的用户界面,其中包含虚拟诊断、流程参数调整和若干安全功能。这有助于简化整个过程,使其比以往任何时候都更易于使用和更高效。其结果是一种通用、灵活、高效的工具,可显着减少与高级材料沉积相关的时间和工作量。